日本ULVAC螺桿真空泵NRL180A維修保養

日本ULVAC螺桿真空泵NRL180A維修保養

愛(ài)發(fā)科真空泵NRL180A特點(diǎn)：

低噪音、低振動(dòng)、*的耐腐蝕性。

標準零部件采用高硬度并經(jīng)過(guò)優(yōu)異的防腐蝕特殊表面處理，降低對府蝕性氣體排氣時(shí)泵

體內部的腐蝕程度。

隨泵配送選購件：

可選購消音器、冷卻水流量開(kāi)關(guān)、氮氣流量開(kāi)關(guān)、泵溫傳感器。

適用于行業(yè)：

活性氣體（CVD/刻蝕等）

排出非活性氣體（濺射鍍膜、蒸氣鍍膜、熱處理、液晶注入等）

用于產(chǎn)生粉塵工藝中的排氣（Si單品爐等）

作為前級泵使用（渦輪式分子泵、機械羅茨泵的前級泵）

冷凍干燥等水蒸氣排氣。

愛(ài)發(fā)科NRL180A干式螺桿真空泵一般用于排出非活性氣體（濺射鍍膜、蒸氣鍍膜、熱處

理、液晶注入等），排出非活性氣體行業(yè)對泵的腐蝕性很大，大多數真空泵都是因為腐

蝕后轉數慢，影響到生產(chǎn)效率，需要專(zhuān)業(yè)的廠(chǎng)家維修，東莞比其爾真空承接愛(ài)發(fā)科

NRL180A干式螺桿真空泵維修。

針對真空泵腐蝕的修復方法：

*清除表面氧化層，用丙酮將表面清洗干凈。噴砂、打磨、涂防腐蝕涂層保護，專(zhuān)業(yè)

的安裝方式完工。

愛(ài)發(fā)科NRL系列在低溫領(lǐng)域下的均熱化，除PVD工藝外，龍其適用于希望提高流量，縮

短非氣時(shí)間的重要工藝腔體的排氣。

選擇比其爾的優(yōu)勢---進(jìn)口真空泵專(zhuān)業(yè)維修廠(chǎng)家：擁有10年以上各類(lèi)進(jìn)口真空泵維修經(jīng)驗

及專(zhuān)業(yè)治具。*真空泵維修配件，提供6個(gè)月延長(cháng)質(zhì)保服務(wù)，終身技術(shù)支持。

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